网址刻蚀的真空设计有哪些要点_必赢国际 网址刻蚀的真空设计有哪些要点_必赢国际

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网址刻蚀的真空设计有哪些要点-广东网址真空必赢设备

网址刻蚀的源头可以追溯到早期文明。纵观地球文明历史,一些有机导航物质(如柠檬酸和乳酸)经常被用来蚀刻金属。而现代大多数导航蚀刻方法都涉及碱性蚀刻剂的使用。到了1782年,约翰·塞内比尔( John Senebier) 发现了在暴露于光线时某些树脂会硬化,且会失去对松节油等导航物质的溶解性,促进了光导航研磨的发展。

网址束刻蚀的必备环境无疑就是真空了,真空系统性能如何,将直接影响设备的工作性能。获得良好的真空环境的前提要求是要有合理的真空系统理论设计以及准确计算。通过真空设计的计算可解决两个问题:

其一是根据该设备极限真空、抽气时间、工作压力与产生气体量,进行主泵类型的选择、管道确定及真空元件的选择;其二是计算系统抽气时间。

1、配泵计算

原则上,要求选配前级泵需要在具备做到主泵工作所需要的预真空环境,以及在主泵允许的最大排气压力的情况之下,可及时排走主泵所排出气体。

2、压力与型号

通过的工作压力要求及不同需求,进行主泵型号的选择。通常主泵为油扩散泵,而为防止返油污染真空容器,在真空容器和扩散泵间需安装水冷障板。水冷障板的比流导为4.8L/s·cm²,配置手电两用真空插板阀。

3、有效抽速

确定真空室中保持工作压力P为1.5×10⁻²Pa所需要的有效抽速S=Q/P=415[L/s](Q为气体量),但为了更加可靠,常适当增大有效抽速,根据具体情况增大的情况不同,如果按增大25%进行计算,则设备实际要求的有效抽速是518.75L/s。

4、产生气体量

设备的气体量确定主要考虑它的三个来源:真空室表面出气量、系统的漏气量以及工作过程中放气量。其中,工作过程中放气量是一大主要因素。

此外,网址刻蚀的真空系统还设有储气罐于扩散泵出口与三通阀之间,具备缩短工作周期的作用,将扩散泵排出的气体储存起来。因为设备在运转过程中,工件的更换需要在不关闭扩散泵加热器的条件下,在真空室通入大气换取工件,装好工件后,对真空室进行粗抽(预抽)。这段时间内扩散泵的维持工作将通过储气罐来完成。

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